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PRODUCT DETAIL

氮化铝陶瓷晶圆承载环

氮化铝陶瓷

氮化铝陶瓷晶圆承载环

晶圆传输与承载部件定制,热膨胀与硅匹配,耐等离子体环境。

  • 材质体系氮化铝陶瓷
  • 加工方式成型烧结 + 超精密加工
  • 定制方式来图 / 来样定制(CAD / STEP)
  • 应用行业半导体装备

产品详情

氮化铝陶瓷晶圆承载环由东莞市阿尔特新材料有限公司按图纸定制生产。以高热导氮化铝(AlN)为主体材料,热导率 170–230 W/(m·K),兼具优异电绝缘性。公司严控原生粉体来源,经成型、烧结与超精密加工制成,公差可稳定控制在 ±0.005 mm,表面粗糙度最高可达镜面级 Ra 0.05 μm。

支持来图来样定制:接收 CAD/STEP 图纸后 24 小时内完成 DFM 评估,优化加工路径,助力客户降低 15%–30% 制造成本;常规精密结构件最快 7–10 天完成打样交付。可提供磨削、研磨抛光、激光切割等后道加工,满足设备厂商的装配需求。

适用于晶圆承载、边缘保护与真空腔内部件;高纯致密材质低放气、抗等离子体侵蚀,尺寸精度与平面度经 CMM 全尺寸检测。

产品出厂前经过 IQC / IPQC / OQC 全流程检验,每批次随货提供 MTR 材质证明、CMM 全尺寸实测数据表与 CoC 合格证,品质数据全溯源。欢迎来电或在线留言获取选材建议与报价。